Ключевые слова: gпроектирование, интегральные микросхемы, технологический процесс.,
АНАЛИЗ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ОСНОВНЫХ ТИПОВ СТРУКТУР ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
УДК 681.335
В данной статье рассматриваются особенности технологических процессов при проектировании изделий микроэлектронной техники. Проиллюстрировано, каким образом формируются микроэлектронные структуры.
Ключевые слова: gпроектирование, интегральные микросхемы, технологический процесс.,
Для цитирования: Коростылева Н.А. , Комаринская К.О. , Кострова В.Н. , АНАЛИЗ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ОСНОВНЫХ ТИПОВ СТРУКТУР ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. Вестник Воронежского института высоких технологий. 2019;13(3). Доступно по: https://vestnikvivt.ru/ru/journal/pdf?id=957
Опубликована 30.09.2019